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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体技术IC芯片创造厂在晶圆工艺操作过程中,动用硅烷采取硅外延性发育,烟气清洗塔制造浓度较高值含硅污废液 。污废液 有着pH振幅大(2-11)、硅分量高的优点,老式治疗办法易现身硅垢淤塞状况。 废水处理组分及特征 生活污水其主要组分为: 融解性硅酸盐 :SiO₂溶度达1000-1500mg/L 磷酸/氢空气氧化钠 :清洗塔酸性清洗液残余的 颗料硅 :納米级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 :原材料沉淀物带进去 净化处理生产技术过程 全新使用"多级中合+膜油烟净化器+挥发凝结"加工制作工艺 : 三级与 :用CaO转换pH至4-5,产生硅酸钙析出,硅清掉率60%。 特殊采和 :加Na₂CO₃将pH升高至9,进这一步奠定剩下硅,串并联用镁剂除砷。 超滤膜设备 :0.02μm淘瓷膜过滤装置纳米级级硅粒子,通量增强在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :精炼高盐废污水,沉淀出Na₂SO₄副產品,水中水回用率超90%。 终极效果好 总硅从1500mg/L降下来5mg/L一些 砷份量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 整体无结渣开机运行大于2年 每季度收旧磷酸钠纳米线约800吨

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