某光电器件研发各个企业因晶圆除污制作工艺产生了含氨污水,储水量200吨/天。污水里面的除氧化还原电位外还包含氟化物和轻微天价属,治疗一定的难度大。本县排污标规定氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废液材质及来原
晶圆冲洗化工废水(具体收入):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀程序化工废水:含少量铜、镍等天价属,pH值起伏较大大
CMP磨细废水处理:含硅颗粒肥料及高锰酸盐指数
解决工序操作流程
选择"检查是否沉定+膜分离法+折点氯化"組合工艺设计:
预外理
:污泥脱水CaCl2除氟,管控pH在7.5-8.
超滤膜体统
:的还原0.01μm以下颗粒肥料物
反渗高浓
:将化学需氧量原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L上面的
折点氯化
:精确度调节氯污泥脱水量,将氯离子还原成为氦气
正离子相互交换
:切实保障血本属合格
后面特效
氧化还原电位稳定可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属分量不高于测量限
水回收利用率达75%
污泥处理产生量减掉40%