广州某半导体器件集成块开发厂，晶圆粗加工工作中导致含硅、氟的专项 工业化工废水，设定处里面积1200吨/日。工业化工废水化学物质复杂性，含有纳米级级硅颗粒物及氢氧化钠，传统性处里策略不可不合格。 污水组成及种类 常见弄脏物 ：溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟正离子（200-300mg/L）、异丙醇 来源于程序 ：晶圆刻蚀污废气 （45%）、CMP化学上的厂家打磨污废气 （40%）、机器设备消毒水（15%） 整理加工制作工艺 步骤流程 创新性用"化学物质析出+特种工艺膜隔离"技木的路线： 钙盐沉淀出的 ：添加氯化钙洗去氟铝离子（形成CaF2沉定） 斜管沉淀池想法 ：复合型二沉池剂满足溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm直径膜公款私存微细粉末 反构建系統 ：脱盐率>98%，回收处理率75% 挥发晶体 ：浓水段满足氟化物零减排 最终能够成果 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（高出地区考试内容一级原则10mg/L） 硅量：<5mg/L 水成本造纸废水处理率：70%用在保压塔皮肤补水 危废处理减轻药量：化掉残留物量较传统化流程增多60%